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第五十一章 光源測試(下)

  眾人回到控制室,羅陽坐到其中一臺電腦前,說道:

  “測你們這種薄膜樣品,X射線要以近乎水平的角度射到硅片的邊緣。

  需要保證每次測試時,剛好有一半的X射線被硅片擋住,另一半X射線則照射到樣品表面,與樣品發生作用,產生衍射信號,最終被信號收集器收集。

  為了防止信號收集器**射線直接照射,要在它的前面放置一枚鉛制硬幣,用來吸收絕大部分的X光。

  現在我們來進行調試。”

  羅陽一邊用編程語言控制測試艙內的儀器,一邊介紹:

  “調試過程就只是給你們講一下,不懂的話也不影響你們測試。

  第一步,我們先把樣品臺在垂直方向,也就是z方向上,向靠近地面的方向移動,使樣品完全沒有擋住X射線。

  此時,檢測器上的信號強度是幾乎恒定的,也是它的最大值,這個極值需要記錄下來。

  第二步,將樣品臺緩緩上升,直到檢測器上的信號強度開始降低,這就表明樣品開始擋住X射線了。

  第三步,讓樣品臺的z坐標,在一個較小的范圍內線性變化,在此期間對信號強度進行掃描,得到信號強度隨z坐標變化的曲線。

  找到信號強度為最大強度的一半左右時對應的z坐標,并將樣品臺移動到此z坐標處。

  這個時候,對應的就是有一半的X射線被樣品擋住的狀態。

  第四步,我們需要標定樣品臺的旋轉角度,因為我們并不知道入射的X光是否是完全平行于樣品表面的。

  讓樣品臺的旋轉角θ,在一個較小的角度范圍內變化,在此期間對信號強度進行掃描,得到信號強度隨θ變化的曲線。

  找到信號強度最大時對應的θ坐標,將樣品臺的旋轉到這個角度,此時X光就是平行射到樣品側面的。

  將此時的旋轉角手動設為0度。

  因為我們旋轉了樣品臺,所以入射X光不再是被樣品擋住一半的狀態了。

  因此需要重復第三步、第四步。

  直至第四步樣品信號最高值處,對應的旋轉角為0度為止。

  就像現在這樣,我們就完成了調試。”

  “調試完成后,設置好入射角度就可以測試了,你們的入射角一般多少度?”羅陽向陳婉清問道。

  “0.12度吧。”陳婉清道。

  羅陽在電腦中敲了一段代碼:

  umv thita 0.12;

  按下回車,然后道:

  “設置好了,你們每次換了樣品后,都要看一下檢測器上的信號強度是不是接近最大值的一半。

  如果偏離過大,就需要重新切光,也就是重復第三步和第四步。

  切好光后,再把入射角改到0.12度。”

  “這幾步的操作都可以在這本用戶手冊中找到,里面有個測試登記表記得要填一下。”羅陽將手冊遞給陳婉清,說道:

  “我在上面給你們留了電話,有事給我打電話,要是提前測完要離開的話,就去總控把光關掉,然后給我發個短信就好。

  之后的測試用軟件就可以操作了,不用我再教一遍了吧。”

  “不用教了,軟件我會用的。”陳婉清道。

  羅陽走后,陳婉清開心道:“這次調試算比較快了,只花了一個多小時。”

  “是啊,感覺羅陽對儀器還是比較懂的,應該是這邊的老師吧,”許秋看了眼時間,說道:“都快晚上十一點了。”

  “那我們來分工吧,一個人負責換樣品,另一個人負責測試。”陳婉清道。

  “我來換樣品吧,體力活交給我,先測已經裝好的1號樣品吧。”許秋道。

  陳婉清點點頭,開始操作軟件,設置好樣品名稱、文件存儲位置、曝光時間。

  “測新樣品時,通常要先測曝光10秒的數據,看看得到的圖像有沒有什么問題。

  如果所測樣品的表面不平整,可能會造成圖像中某些區域的信號強度過高,甚至超出儀器的檢測限,這種情況就需要重新去測試艙調整樣品的位置。

  如果圖像中沒有異常點出現,就可以把曝光時間調到100秒、200秒、300秒或其他時間。

  只要最高信號強度不超過5萬,曝光時間越高則得到的圖像質量越好。”陳婉清道。

  1號樣品,10秒曝光測試后,沒有異常點出現,最高信號強度為1000左右。

  因為1000*(300/10)=30000,小于5萬,所以陳婉清直接換成300秒曝光時間,再次測試。

  1號樣品,測試完畢。

  2號樣品,測試完畢。

  3號樣品,測試完畢。

  10號樣品,出現了異常點,許秋重新打開艙門調整了樣品位置后,重新測試,異常點消失。測試完畢。

  17號樣品,再次出現異常點,許秋調整樣品位置4次后,異常點仍未消失,只好放棄測試該樣品。

  33號樣品,許秋在關艙門時,有些著急,踩到了艙門前的壓力傳感器,艙門緩緩打開,他只好再次重新關閉艙門。

  43號樣品,測試完畢。

  此時已經是凌晨三點半。

  許秋重復開關艙門操作50多次了,他也終于知道為什么這造價十多億的設備,不需要有專業人員時刻盯著。

  因為都是傻瓜式操作,操作步驟雖然繁瑣,但重復個幾十次也就熟練了。

  除非蓄意破壞儀器,不然很難對設備造成破壞。

  跑來跑去還是比較累的,主要是每次去按搜索1的時候都要彎兩次腰,耳邊還時刻伴隨著刺耳的警報聲。

  好在每次測試的曝光時間都比較長,期間可以坐著休息一會兒。

  這時,兩人都有些困了,他們稍微吃了點東西,咬咬牙繼續測試。

  “我替你換樣品吧,你來歇一會兒。”陳婉清道。

  “學姐,你會換樣品嗎?”許秋問道。

  “那當然了,之前都是我一個人來測試的,換樣品、測試都是我做的。”陳婉清道。

  “一個人也太辛苦了吧,其他人不來嗎?”許秋道。

  “他們又沒有樣品,強行拉過來幫忙測試也不太好,主要是之前兩次都是在白天測試,所以其實還好啦。”陳婉清道。

  “好的,那學姐你去吧。“許秋坐到了測試電腦前。

  “嗯嗯,”陳婉清點頭道:“主要我想動一動,不然一直坐著都快睡著了。”

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