第280章 檢驗 (上)

　　這年頭，類似雙擁、軍民共建單位啥的在正規檔案上還沒出現，倒是各路部隊三產蓬勃發展蒸蒸日上，由於年代的緣故，這類部隊三產單位是安置退役官兵的一大主力，比如聯航就是最明顯的例子。

　　遠嘉某種程度上還真有部隊三產的屬性，從預備役角度搞個民兵團編製絕對符合當前政策，一般來說民兵的預算歸地方、人武部、企業三家協商解決，裝備由軍區調整或人武部購買，裝備范圍是共和國現役制式裝備。

　　當然，靠山吃山靠水吃水這條大定理在這裡依然管用，比如靠近北方邊境的民兵師由於靠近坦克廠就裝備了現役五對輪。

　　1000所能搞的東西不少，翁承基自然也是代入了靠啥吃啥的定律，以翁承基目前知道的1000所研發計劃而言，一旦新裝備問世多了不敢說裝備一個連幫忙做定型測試肯定沒問題，遠嘉安保人員本來就素質一流，如果裝備也一流了拿下個大比武第一還不玩似的。

　　幾人說話間機場叉車叉著罩著軍綠色偽裝網的箱子從貝爾法斯特的寬大尾門裡慢慢的行駛出來，有了機械化作業，十噸輕水卸載的速度極快，只用了十五分鐘，接貨的卡車就駛離了機場。

　　此時的科技園已經進入了外松內緊的狀態，好在由於1000所的緣故，這種情況對於已經見多識廣科技園的員工來說不算什麼異常。

　　港基集電的中試車間已經粗糙的改造了一臺設備，打算直接對梁遠的想法進行驗證。

　　這時候就看出來火炬計劃的好處了，別看5微米的線寬落伍，但港基集電已經徹底吃透了整條技術線上的所有環節。

　　把晶圓丟水裡光刻看似簡單，但已經涉及到光刻機光源功率調整和工作臺運行速率之間的協調，未來一臺高精度光刻機的安裝調整測試起碼需要一年時間，雖然有海外故意設卡和工作效率不高的緣故，但也足以說明這玩意究竟會有多麻煩。

　　若沒徹底吃透技術光這點調整就束手無策，如果依賴海外的技術人員丟水裡光刻這個秘密壓根就沒法保密。

　　這一白天的時間過去，一個經過審核的可靠技術小組已經成立，晶片的中試環節如果用互聯網時代的說法來形容大約和不刪檔公測類似，除了不能上量和保持隨時可以整改之外，和批量生產沒什麼本質區別。

　　這次中試港基集電抽調了一條已經能正常運行的5微米生產線，臨時用玻璃做了一個裝載輕水的容器放在工作臺上，技術大佬三人組一起上陣帶著十多個技術人員調整了光刻機的功率，由於不需要批量生產的緣故，較為麻煩的工作臺運行速率調整可以不動。

　　略去裝輕水的設備除塵等環節不提，東西拉到科技園之后梁遠和已經從學校回來的雙胞胎先去食堂吃晚飯，然后回到科技園開始了進車間前的“消毒”步驟。

　　由於這次實驗對環境的要求相當高的緣故，梁遠和雙胞胎都得穿最頂級的防塵服，帶密封的玻璃護目鏡整個頭罩把腦袋都扣上呼吸都被器材過濾的那種。

　　一套除塵流程下來足足花掉了接近一小時，然后梁遠三人才被允許進入到實驗車間。

　　港基集電的生產車間普遍選擇米色基調，連設備的涂裝都是米色色系，只不過和周圍環境深淺不同而已。

　　兩個丫頭對梁遠搞出來的東西極度的好奇，小心翼翼的跟在梁遠身后，眼神靈動的看來看去。

　　由於實驗的緣故，車間裡成群的物料小車都已經停掉，只剩下一臺看起來孤零零的白色光刻機停在車間的一側。

　　“小遠，這次我們能不能看到晶片是怎麼生產出來？”

　　由於採用全密封服裝的緣故，梁遠頭套耳機裡的聲音有些失真，也分不出來究竟是哪個丫頭在說話。

　　“光刻機的生產原理和照相類似屬於短暫曝光啊，被人類看見了就是曝光過度還怎麼生產晶片？”

　　梁遠笑著回了一句。

　　問話的寧婉嘉有點不好意思的吐了吐小舌，不過因為防塵頭套的緣故也沒人看見。

　　“大少，都準備好了，是不是開始實驗？”

　　梁遠吃飯和消毒的這段功夫，王欣等人已經把輕水灌進了工作臺上的容器，晶圓也涂好了光刻膠放進了輕水之中。

　　目前港基集電所使用的光刻膠，雖然沒針對防水這個屬性進行過優化設計，不過光刻膠從原料屬性上屬於樹脂的一種本身就具備一定的防水特性。

　　光刻之后的顯影工序本身就需要用純水沖洗顯影液，因此只要不選用遇水溶解的光分解型光刻膠，短暫的實驗性生產光刻膠應該不影響晶片的最終成品，當然，這些都是技術大佬三人組理論上的預想，最終如何還需要實際行動來驗證。

　　“好，開始吧。”

　　“大少你來按啟動按鈕吧。”

　　“不用了，不用了，誰離得近誰按，要不是有點心急，我都不來這裡湊熱鬧了。”

　　最終，站在光刻機旁邊的聶曉天按下了設備的工作健。

　　港基集電目前的光刻機大概能有七八立方米大小，設備近似於一個超大的黑箱，晶片曝光時的過程肉眼根本看不見，設備工作更沒什麼聲響，雖然晶片和航天都是人類的尖端科技，但論起視覺效果這兩者簡直天差地別。

　　由於不需要把整個晶圓的面積全部生產利用上，光刻機曝光了十次就停止了工作，在電機的推動下工作臺緩緩的從光刻機中退出，開始把晶圓向后續工藝推送。

　　曝光之后是顯影，顯影之后是堅膜，再之后工藝進入了檢測程序，這步工藝是對晶圓的顯影結果進行檢測，合格的晶圓進入后續的刻蝕等流程，不合格的晶圓在清洗后進入最初流程重新來過。

　　不過對於實驗室中的眾人來說，檢測這一步幾乎就足夠判定新方法的生死了，在電子顯微鏡下成與不成一目瞭然。

　　梁遠是啥都不懂，只能看著王欣坐在檢測設備前通過電子顯微鏡觀察著剛剛出爐不久的晶圓。